| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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TF1200-PECVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor
Deposition) 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
設(shè)備介紹：
本設(shè)備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置，可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用，工藝重復(fù)性好，對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。
主要組成系統(tǒng)及特點(diǎn)：
本設(shè)備主要由管式加熱爐體，真空系統(tǒng)，質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)，射頻等離子源，石英反應(yīng)腔室等部件組成。
主要特點(diǎn)：
1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、*性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
開啟式真空管式爐技術(shù)參數(shù) | |||||
| 石英管尺寸 | L1400mm *（根據(jù)需求選擇不同直徑的石英管作為反應(yīng)室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等規(guī)格可選。） | |||
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 | ||||
測(cè)溫元件 | K型熱電偶 | ||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400mm | ||||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | ||||
工作溫度 | ≤1100℃ | ||||
控溫模式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 | ||||
控溫精度 | ±1℃ | ||||
升溫速率 | ≤20℃/min | ||||
電功率 | AC220V/50HZ/3KW | ||||
質(zhì)量供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（根據(jù)需求選擇多路質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)。有兩路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供選擇。） | |||||
| 外形尺寸 | 600x600x600mm | |||
標(biāo)準(zhǔn)量程 | 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； | ||||
數(shù)顯壓力表測(cè)量范圍 | -0.1Mpa～0.15Mpa | ||||
極限壓力 | 3MPa | ||||
針閥 | 316不銹鋼 | ||||
截止閥 | Φ6mm 316不銹鋼針閥 | ||||
電功率 | AC220V/50HZ/20W | ||||
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec | ||||
準(zhǔn)確度 | ±1.5% | ||||
線性 | ±0.5～1.5% | ||||
重復(fù)精度 | ±0.2% | ||||
接口 | Φ6,1/4'' | ||||
真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（根據(jù)需求選擇不同真空效果的真空系統(tǒng)。有DZK10-1（極限真空0.1Pa），GZK10-3（極限真空0.001Pa），以及進(jìn)口高真空機(jī)組（極限真空0.0001Pa）供選擇。） | |||||
| 外型尺寸 | 600×600×600mm | |||
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ | ||||
功率 | 400W | ||||
抽氣速率 | 4Ls | ||||
極限真空 | 4X10-2Pa | ||||
實(shí)驗(yàn)真空度 | 1.0X10-1Pa | ||||
容油量 | 1.1L | ||||
進(jìn)氣口口徑 | KF25 | ||||
排氣口口徑 | KF25 | ||||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
射頻電源（根據(jù)需求選擇強(qiáng)度不同的射頻電源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功率的射頻電源供選擇） | |||||
| 信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% | |||
功率輸出范圍 | 5-300W 5W-500W可選 | ||||
最大反射功率 | 200W | ||||
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female | ||||
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | ||||
諧波分量 | ≤-50dbc | ||||
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ | ||||
整機(jī)效率 | >=70% | ||||
功率因素 | >=90% | ||||
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | ||||
艾科迅部分客戶（CVD及PECVD及管式爐系列）
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 常見PECVD系統(tǒng)組合 1. 1200度60滑軌式微型管式爐，低真空系統(tǒng)，四路質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)，300W射頻電源 |
TF1200-60S-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ300 |
2. 1200度60滑軌式管式爐，低真空系統(tǒng)，四路質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)，500W射頻電源 |
TF1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
3. 1200度60雙溫區(qū)滑軌式管式爐，低真空系統(tǒng)，四路質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)，500W射頻電源 |
TF1200-60II-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
4. 1200度60三溫區(qū)滑軌式管式爐，低真空系統(tǒng)，四路質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)，500W射頻電源 |
TF1200-60III-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
5. 1200度60微型預(yù)熱爐，1200度60滑軌式管式爐，低真空系統(tǒng)，四路質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)，500W射頻電源 |
TF1200-60S，MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
上海交通大學(xué) | 上海理工大學(xué) | 華東師范大學(xué) | 上海海洋大學(xué) |
同濟(jì)大學(xué) | 上海電力大學(xué) | 上海工程技術(shù)大學(xué) | 華東理工大學(xué) |
清華大學(xué) | 復(fù)旦大學(xué) | 重慶大學(xué) | 貴州大學(xué) |
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大 學(xué)
西安航天165所 | 中科院生態(tài)環(huán)境所 | 中科院金屬研究所 | 中電科技集團(tuán)13所 |
紹興技術(shù)監(jiān)督檢測(cè)院 | 錫礦山閃星銻業(yè) | 四川新材料研究中心 | 中電科技集團(tuán)49所 |
中國(guó)建筑科院研究院 | 重慶鋼鐵研究所 | 上海應(yīng)用物理所 | 長(zhǎng)春應(yīng)用化學(xué)研究所 |
山西煤炭化學(xué)研究所 | 航天推進(jìn)技術(shù)研究所 | 上海硅酸鹽研究所 | 廣州能源研究所 |
四川材料與工藝研究所 | 北方涂料工業(yè)研究設(shè)計(jì)院有限公司 | ||
科研單位
江西吉陽集團(tuán) | 內(nèi)蒙古天宇集團(tuán) | 佳英特能源材料公司 |
北京東旭集團(tuán) | 新疆慶華能源集團(tuán) | 山東通用光伏能源有限公司 |
青島韓亞重工 | 安徽天康集團(tuán) | 河北神通光電科技有限公司 |
日照華軒新能源有限公司 | 清美通達(dá)鋰能科技有限公司 | 成都登特牙科技術(shù)開發(fā)有限公司 |
常州樂奧醫(yī)療科技有限公司 | 邦迪管路系統(tǒng)（上海）有限公司 | 溫州天球電器有限公司 |
凱銳眾成金剛石工具有限公司 | 中聯(lián)科偉達(dá)技術(shù)股份有限公司 | 三鑫重工機(jī)械設(shè)備有限公司 |
遼寧錦州金屬有限公司 | 青海新型建材工貿(mào)有限公司 | 惠州拓普金屬材料有限公司 |
AEM科技（蘇州）有限公司 | 深圳雙德先進(jìn)陶瓷有限公司 | 唐山華運(yùn)鐵路交通器材有限公司 |
上海合全藥業(yè)股份有限公司 | 東莞大洲電子材料有限公司 | 慈溪大旗機(jī)械科技有限公司 |
蘇州邁眾注塑系統(tǒng)有限公司 | 東莞邁科科技有限公司 | 蘇州大洋精鍛有限公司 |
天津索克汽車試驗(yàn)有限公司 | 蘇州太智機(jī)電有限公司 | 上海鐵高國(guó)際貿(mào)易有限公司 |
黃石滬士電子有限公司 | 株洲冶煉集團(tuán)股份有限公司 | 貴州皓天光電科技有限公司 |
哈爾濱亞源電力有限公司 | 馬爾精密量?jī)x（蘇州）有限公司 | 湖南元素密碼烯高科技有限公司 |
中山翔江精密光學(xué)有限公司 | 天通控股股份有限公司 | 上海超硅半導(dǎo)體有限公司 |
蘇州海鉑晶體有限公司 | 晶能光電（江西）有限公司 | 唐山晶源電子有限公司 |
青島嘉星晶電科技有限公司 | 常州好利來光電科技有限公司 | 三安光電股份有限公司 |
